名称 テフロン製吸着パッド
材質 テフロン(PTFE)
寸法 220φX30H
精度 ±0.05
特徴 精度の出しにくいテフロン素材を反りを抑え切削加工

この製品は半導体製造装置向けの吸着パッドです。製品に傷をつけないように樹脂の中では軟らかく摩擦係数の極めて低いテフロン(PTFE)を選定しています。またフッソ樹脂であるテフロンは強固な結合をもつ高分子重合体で、その分子構造により耐薬品性、耐熱性、優れた電気特性を持つ樹脂になります。その反面温度による寸法変化や反りが他の樹脂に比べ大きく、特に23℃付近に特有の転移点があり寸法変化が大きくなるため寸法出しが非常に難しい材料になりますが、弊社では使用時の条件を考慮して加工時の温度管理や材料のアニール処理をして対応しています。テフロン(PTFE)の切削加工でしたら樹脂・ゴム切削加工.COMを運営する太陽ゴム工材にお問い合わせください。